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EM Probe Station 

1)控制台xyz方向可调;2)步进小于等于2.5μm;3)可重复误差低于50μm;4)扫描区域大于等于50X50mm;5)有高灵敏度及低灵敏度2个电磁感应探头,以用于不同类型芯片测试。内带低噪声差分放大器: 15pT/√Hz@1MHz(高灵敏度探头);3pT/√Hz@1MHz(低灵敏度探头)。

 
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